等離子清洗機
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等離子清洗機
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HC-PL12
高效桌上型系統
MWD 12 結構緊湊的桌上型設計
適用于研發和小批量生產
具有專業的PLC 控制系統
選件
● 真空系統
● 臭氧過濾器
● 附加工藝氣路
● 散料樣品旋轉臺
● 清洗隔板
● 側裝微波源
● 軟啟動和慢速填充
● 其它定制選件
技術參數
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外形尺寸： |
腔體內部尺寸: |
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腔體內部尺寸: |
W225 x H225 x D225 mm |
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微波功率: |
2.45 GHz， 50-300W 可調 |
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工藝氣路: |
標準1 路，包括質量流量計和控制電磁閥等 |
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真空接口： |
DN16 KF |
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DN16 KF |
230 V, 50/60 Hz 0.5KW 不含真空泵 |
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控制單元： |
觸摸屏PLC控制 |
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真空規: |
Pirani真空計 |
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主要應用： |
半導體材料表面有機污染物去除和表面活性增強 |
產品特點
● USB 接口
● 以太網接口
● 遠程維護(VPN)
● 微波元上裝
● 易于操作的圖形化界面
上一個
無
下一個
HC-VS200型真空回流爐
